Polarized UV Exposure System ( 자외선 편광노광기, 경화기 )

 

Scan Exposure ( 스캔노광기 )

 

본 장치는 편광된 자외선을 이용한 미세패턴 노광과 경화를 위한 장치입니다.

    

    ■ Polarized UV SCAN Exposure system

● 사 양

  - Wavelength : 250 ~ 450nm

  - Intensity : 40mW/cm2 ( @ 320nm )

  - Wire Grid Polarizers

     P polarization Exposure

  - Exposure mode

     정지 노광

     Scan 노광

     경사노광

 - Sample size : order made

 - Control : PLC and Touch Panel

 - Process : Auto, manual mode   

 - Sample Align Stage :

    X,Y,Z and θ axis motorize ( Manual )

    Program and Joystick control      

 - Microscope Module

     Dual Zoom lens and CCD camera

 - Option : Hot chuck 등

             Stage motorize

             Zoom and  Focus motorize

 

Polarized UV SCAN Exposure system 동영상

 

 

 

  * 자외선에서 S편광은 반사시키고 P편광을 사용한다.

 

 

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