간편 노광기 (Exposure System)

 

본 장치는 자외선을 이용한 노광으로 PR 패턴을 할 수있는 장치입니다.

    

 ■ 간편노광기 Exposure system

● 사
   : ultra violet(자외선) 이용한
     미세패턴 노광과 UV resin경화를
     있는 장치
  - 파장 : 365(I line)
              380nm
              385nm
  - 노광시간 조절용 타이머
  - UV LED : 3W array
  - intensity : 30 ~ 40 mw/cm2

  

 ● 공정순서

     1. Tray를 연다

     2. PR 또는 경화제를 도포한 시료를 올려 놓는다.

     3. 시료 위에 Mask를 올려 놓는다.

     4. Tray를 닫는다.

     5. Timer 설정

     6. 노광(Exposure)한다.

     


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