Spin coater System ( 스핀코터 )

 

   - Photo resist를 회전도포하여 시료에 균일한 막을 도포하는 장치이다.

   - 1 um 전후의 균일한 도포 가능하다

   - RECIPE 이름 영문 알파벳&숫자 조합 저장 가능

   - 조이스틱과 로터리인코터 적용으로 사용 편리

   - 진공 압력 센서 전면 설치 하여 샘플 고정 압력을 편리하게 확인

   - 진공 압력 부족 START 금지 INTERLOCK 적용.

   - 샘플 로딩 각도가 시작 / 동일 ( 사용자 편의를 위한 원점 복귀 기능 )

사 양

 Wafer size(Max.)

 piece to 4" diameter

 Bowl size

 190 mm

 Bowl material

 Acetal (option: Sus, Tefelon, etc)

 Motor

DC motor

 Recipe

 50 recipe

 Step

 20 step

 Rotation Speed

 0 ~ 10,000 rpm

 Run Time

 1 ~ 999 sec

 Accuracy

 1% 이하

 Acceleration / (Deceleration)

  2,000 / (1000) rpm/sec

 Power Input

 AC 220V 5A 50/60Hz, 1Phase

 Vacuum Input

 -650 mmHg (6 mm TUBE)

 Dimension (W X D X H)

 200 X 245 X 240 mm

 

* Spin coater 담당자 : 이효삼 부장 ( 010-9558-8712 )


    주소 : 대전시 유성구 테크노2로 187, 미건테크노월드2차 C동 237호 ( 우 : 34025 )

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