Spray coater  System ( 스프레이 코터 )

● 용도

   - 용제를 미세 스프레이노즐을 이용하여 시료에 균일한 막을 도포하는 장치이다.

   - 1~100 um 초미립자 코팅

   - CNT, ITO, 2차전지분리막, 자동차부품, 코팅

   - PR, AF, Resin, Polymer, 이액형 약품 Coating 가능

   - Glass, Film, Plastic, Wafer, steel, PCB 기판 코팅가능

   - 시료표면의 단차, 요철, 굴곡의 형상에도 균일한 두께로 도포 가능

   - 사각형 및 다각형의 시료 코팅가능.

   - 이형 액제 혼합분무가능

 

    ■ Spray coater system

● 사 양

Item

  Specification

Control

PLC and Touch Panel 

 Process

Auto mode / Manual Mode 

Moving

X,Y Z Robot system

Nozzle

Air atomizing nozzle

약액 정량공급

교반압송탱크,Flow meter

Thickness

수십nm ~ 100 um
   
   

 

    ■ Spray coater system ( 양산용, 연속무맥동 정량펌프, 척회전 )

● 사 양

Item

  Specification

Control

PLC and Touch Panel 

 Process

Auto mode / Manual Mode 

Moving

X,Y Z Robot system

Nozzle

Air atomizing nozzle

약액 정량공급

연속무맥동정량펌프

Thickness

수십nm ~ 100 um

Chuck Heating

30 ~ 150 ℃

Spin ( Option )

Max ~ 1,000 RPM

 

    ■ Spray coater system

● 사 양

Item

  Specification

Control

PLC and Touch Panel 

 Process

Auto mode / Manual Mode 

Moving

X,Y Z Robot system

Nozzle

Air atomizing nozzle

약액 정량공급

시린지 펌프 200cc

Thickness

100nm ~ 100 um

Chuck Heating

30 ~ 150 ℃

노즐막힘방지

3 way suckback valve

    ■ Spray coater system

● 사 양

Item

  Specification

Control

PLC and Touch Panel 

 Process

Auto mode / Manual Mode 

Moving

X,Y Z Robot system

Nozzle

Air atomizing nozzle

약액 정량공급

시린지 펌프, 연속정량펌프

Thickness

수십nm ~ 10 um

Chuck Heating

30 ~ 450 ℃

Spin ( Option )

Max ~ 1,000 RPM

 

■  정량 펌프

● 시린지 정량펌프

  -  시린지 사이즈 : 30, 50, 200ml

   -  Accuracy : ± 0.5%

   -  Repeatablity : 0.05%

  -  Linear force : 13.6kg

  -  Suck back 기능

 

● 연속무맥동 정량 ( Super Metering Pump )

  -  Flow rate : 0.1~30ml/m

   -  Accuracy : ± 0.1%

   -  양산장비 적용

● 싸이클론 노즐 특성

 

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