Bond Aligner System ( 셀 합착기 )
개요 : 본 장치는 Display 및 반도체 셀의 정렬 및 합착용으로 고안 된 장비입니다.
● 가용한 재질
1. Glass + Glass
2. Film + Glass
3. Wafer + Glass
4. Si Wafer + Si Wafer ( IR Lamp 적용 )
|
■ Auto Bond aligner system ( 셀 합착기 ) |
|
|
|
● 사 양
- Control : PLC and Touch Panel - Process : Auto, manual mode - Sample size : 4, 6, 8,12 inch wafer 100x100, 200x200, 300x300mm - Sample loading : Manual - Sample Align Stage : X,Y,Z and θ axis motorize ( Manual ) Program and Joystick control - Microscope Module - Spot UV 경화기 - Option : UV경화장치,Hot chuck 경화제 DISPENSE 등 |
|
■ Bond aligner system ( 셀 합착기 ) |
|
|
|
● 사 양
- Control : PLC and Touch Panel - Process : Auto, manual mode - Sample loading : Manual - Sample Align Stage : X,Y,Z and θ axis motorize ( Manual ) Program and Joystick control - Microscope Module - Spot UV 경화기 - Option : UV경화장치,Hot chuck 등 |
|
■ Bond aligner system |
|
|
|
● 사 양 - Control : PLC and Touch Panel - Sample size : 370 x 470 ( Glass, Film ) - Process : Auto, manual mode - Sample loading : Manual - Sample Align Stage : X,Y,Z and θ axis motorize ( Manual ) Program and Joystick control - Microscope Module Motorize focus and Zoom lens - Spot UV 경화기 UV 250W형 : 조도 4500mw/㎠ 전자제어방식 셔터, 타이머 제어 Light Guide ( 4분기 ), Quartz(석영) type - Option : UV경화장치,Hot chuck 등 |
|
■ Auto Mode aligner system |
|
|
● 사 양 - Control : PLC and Touch Panel - Sample size : Order Made - Process : Auto, manual mode - Sample loading : Tray, JIG 사용 - Sample Align Stage : X,Y,Z and θ axis motorize Program(Z) and Joystick control - Microscope Module Motorize focus and Zoom lens - Spot UV 경화기 UV 250W형 : 조도 4500mw/㎠ 전자제어방식 셔터, 타이머 제어 Light Guide ( 4분기 ), Quartz(석영) type - Option : UV경화장치,Hot chuck 등 |
|
|
■ Manual Mode aligner system |
|
|
● 사 양 - Control : Manuall - Sample size : Order Made - Sample loading : Tray, JIG 사용 - Sample Align Stage : X,Y,Z and θ axis manual - Microscope Module Dual Zoom lens ( 12X ) - Exposure Spot UV, UV경화장치, Hot chuck 등 |
|
■ Bond Align용 Stage |
|
|
|
● 사 양 - Control : Manuall - Sample size : Order Made - Sample Align Stage : X,Y,Z and θ axis manual - Leveling stage - Clamp - Top Holder 분리형 |
- 제품의 특징
Mask 및 Top sample의 Loding의 편리성
정밀 stage 사용 : X, Y, θ, Z축 0.5㎛ ( Option : 50 nm )
Hard ware적인 leveling적용 : 일정한 gap을 유지한 상태로 cell을 경화시킬 수 있음
※ 연락 주시면 성심 껏 답변드리고, 필요하시면 방문 상담해 드리겠습니다.
(주)리소텍 ( https://www.litho.co.kr )
주소 : 대전시 유성구 테크노2로 187 미건테크노월드 2차 C동 237호 (우:34025)
대표 이상규 ( 사업자번호 : 843-88-00220 )
e-mail : litho@litho.co.kr, sg815@daum.net
전화 042-936-9309, FAX 042-367-7987, HP 010-6755-1236
